how to understand MSDS ？ 就是 物質安全資料表 material safety data sheet,所有 fab 的特氣 (refer to gas ) and 特用 化學品 ( refer to 液體）
fab 最貴的 特化 is 光阻, （比chanel 的no.5 還貴) 想出黃光製程 的 傢伙 真是天才. 光阻有毒嗎？看對照吧？ 看用法！
物 質 安 全 資 料 表
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一、 製造商或供應商資料 |
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物品名稱 : XXX 光阻劑 |
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物品編號 : |
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製造商或供應商名稱：供應商 - 台灣XXX股份有限公司 製造商 – XXXX(Japan) XXXTechnical & Production Dept. |
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製造商或供應商地址：供應商 - 台北XXXX路一段XX號X樓 工廠 - 3XXX ChiXXXXX DXXXX-cho, XgXXX-XXX, XXXX, Japan |
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詢問者姓名及電話： XXX,(02)000=99999 |
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緊急聯絡電話： (02)2X1XX8XX / 0933XXXXXXX |
傳真電話：(02)2X55-XXXX |
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二、辨識資料 純物質: |
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物品中（英）文名稱：XXXXX 光阻劑 |
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同義名稱： |
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化學文摘社登記號碼 (CAS No.) : 68510-93-0 & 9065-82-1 & 108-65-6 |
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危物成份(含量%)： |
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混合物: |
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化學性質: |
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危害物質成份之中英文名稱 |
濃度或濃度範圍(成份百分比) |
危害物質分類及圖示 |
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Naphthoquinone diazide derivative 重氮衍生物 |
未頒佈 |
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Nobolakresin derivative 多甲酚聚合物 |
未頒佈 |
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甲基醚丙二醇醋酸酯 |
74.8 ±0.5 (要注意這個成份,3/4 都是) |
CH3 CH3 OCH2 CHCOCH3 |
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Additive 添加劑 |
未頒佈(商業機密, 反正跟上面三種混在ㄧ起) |
未頒佈 |
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三. 危害辨識資料 |
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最 重 要 危 害 效 應 |
健康危害效應：接觸皮膚會造成輕微的刺激感 |
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環境影響：無相關報告 (因為 天殺的 才會倒到河裡) |
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物理性及化學性危害：正常溫度下安定，高溫下會發生熱分解並燃燒。 |
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特殊危害： |
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主要症狀： |
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物品危害分類：第三類易燃液體 |
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四. 急救措施不同暴露途徑之急救方法： l 吸入：移至新鮮空氣處並儘速就醫。 l 皮膚接觸：移至新鮮空氣處並儘速就醫。 l 眼睛接觸：無相關報告 l 食入：立刻飲用大量開水並儘速就醫 （除此以外, 沒有它法） |
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最重要症狀： |
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對急救人員之防護： |
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對醫師之提示： |
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五、滅火措施 |
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適用滅火劑：乾粉滅火器、泡湯滅火器、二氧化碳噴灑滅火設備。 (很重要) |
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滅火時可能遭遇之特殊危害： |
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特殊滅火程序： |
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消防人員之特殊防護設備：安全手套、安全護目鏡、防有機氣體之呼吸防護具。(看到沒, 防有機氣體之呼吸防護具) |
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六、洩漏處理方法 |
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個人應注意事項：工作後儘速脫掉污染之衣物，洗淨後才可穿戴或丟棄，且須告知洗衣人員污染之危害性。 |
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環境注意事項：工作場所嚴禁吸煙及飲食。 |
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清理方法：使用吸附材料予以吸收並送入焚化爐將其燒成灰燼。 |
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七、安全處置與儲存方法 |
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處置：避免眼睛、皮膚之接觸。 |
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儲存：依消防法規，避免滲漏。 (在乾燥狀態下，以密閉容器儲存於5℃~25℃的溫度下，並防止光線照射) （光阻, 就是 會感光, 不然 幹嘛 叫 光阻) |
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八、暴露預防措施 |
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工程控制： |
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控制參數： l 八小時日時量平均容許濃度/短時間時量平均容許濃度/最高容許濃度： l 生物指標： |
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個人防護設備： l 呼吸防護：氧氣面罩 l 手部防護：安全手套 l 眼睛防護：安全護目鏡 l 皮膚及身體防護：安全衣物 |
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衛生措施：當地之抽風設備、淋浴設備、洗眼設備 |
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九、物理及化學性質 |
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物質狀態：澄清液體 |
形狀：液體 |
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顏色：透明 (正光阻吧？ 很薄時) |
氣\味：獨特氣味 |
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pH值：未測量 （不容於水, 測個屁) |
沸點/沸點範圍： 134 ℃ / 未測量 |
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分解溫度：未測量 （additives, 應該是 幫光阻 bond 的牢牢的, 當然不會自然解離, i guess) |
閃火點： 45.5OC 測試方法： ( 45.5c) |
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自燃溫度：未測量 |
爆炸界限：未測量 (測不到） |
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蒸氣壓：未測量 |
蒸氣密度：未測量 |
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密度：1.033 ±0.005 (25/25 OC) |
溶解度：不溶於水 （會成懸浮物的狀態) |
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十、安定性及反應性 |
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安定性：安定 |
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特殊狀況下可能之危害反應： |
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應避免之狀況： |
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應避免物質：避免接觸氧化劑 (就 h2o2 , 不會 白目 到 加 h2o2 吧？） |
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危害分解物：無相關之報告 |
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十一、毒性資料 |
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急毒性： Propylene glycol monomethyl ether acetate (LD50=8500毫克/公斤) (大鼠) (以下的data是從 大鼠 身上 得到的） |
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局部效應：皮膚與液體長時間接觸會造成輕微的刺激感。 （應該不會有人喝吧） |
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致敏感性：無相關之報告 |
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慢毒應或長期毒性：無相關之報告 |
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特殊效應： |
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十二、生態資料 |
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可能之環境影響/環境流佈：無相關之報告 (again, 天殺的 才會將 光阻 倒到 環境中) |
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十三、廢棄處置方法 |
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廢棄處置方法：廢溶液焚化為最佳之廢棄處置方法。應符合當地之法規規定。（是有提出 焚化法） |
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十四、運送資料 |
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國際運送規定：無相關規定 |
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聯合國編號：1993 (易燃液體) |
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國內運送規定：依消防法規。運輸時應使用原容器並保持密閉。 |
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特殊運送方法及注意事項： |
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十五、法規資料 |
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適用法規：消防法規的規定 |
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十六、其他資料 |
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參考文獻 |
名稱：日XXXXX股份有限公司XXXXXX (Japan) XX. Technical & Production Dept. |
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製表單位 |
地址/電話：XXXX ChiXXXXXXXXXXXX, Japan |
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製表人 |
職稱：技術經理 |
姓名（簽章）：XXXX |
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製表日期 |
2003/6/2 |
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上述第二項至第九項資料由科萊恩公司參考國內外文獻及製造廠商之資料編纂而成，各項數據與資料僅供參考。
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