dear baby,靠山山倒,靠自己最穩,ㄧ個半導體廠hireㄧ大堆人,宣董的公司還在擴,女人的青春有限,but,在cleanroom 23+-0.5c,particle free, 還有ㄧ大堆剛從台青椒畢業的young kids, 對眼睛好, move to 竹科, to have a new life. 高中學歷 就可當 operator, 當然 釣個 凱子宅男 工程師 is priority.

                   
PROD ID PH ACID-BASE 危害性
分類
危害圖示 存放條件 外觀/氣味 狀態 化學品處理方式

NH4OH (clean的能力很強)

but, 用時, 會dilute to 1:100

textbook 也有說明用法

強鹼 強鹼 8 腐蝕性--

真的很臭

要抽氣櫃

透明/刺激的 液體 廢水處理廠
濕式洗滌塔

H3PO4

(也很好用, 加到97c, 去作去

nitride, but 必須用鐵氟龍槽)

1.5 酸性 8 腐蝕性   透明/無味
液體
廢水處理廠
濕式洗滌塔

H2O2

(都是須自動補充到h2so4 與h3po4

槽, 使得bath life 去sustain)

3.5 酸性
化物
5.1,8 化性、腐蝕性

防止與酸類、易燃物、有機物、還原劑、自燃物品等混合儲放

very very critical

透明/無味 液體 廢水處理廠
濕式洗滌塔

HCl( typical chemical, hcl+h2o2

for spray etch)

鹽酸 1.1 酸性 8 腐蝕性  ㄧ硝三鹽 無色或淡黃色/
刺激性鼻味
液體 廢水處理廠
濕式洗滌塔
IPA  (pm 用)
異丙醇 中性 中性 3 易燃性  擦機很好用 無色/輕微丙/
乙醇混合味道
液體 廢有機溶劑儲存槽
活性吸附

PI-2610 (要coat 很厚用時,

mostly for backside via )

低感光光阻液 <7 酸性 3 易燃性   紅色/芳香 液體 廢有機溶劑儲存槽
活性吸附
VM-652   <7 酸性 3 易燃性   紅色/芳香 液體 廢有機溶劑儲存槽
活性吸附
NMP (strip)
N-甲基-2-砒各 中性 中性 9 易燃性   無色/輕微 液體 廢有機溶劑儲存槽
活性吸附

BOE (typical chemical to etch si,

hf with dilute )

蝕刻劑 酸性 酸性 8 腐蝕性   透明/烈刺激味 液體 廠內暫存
濕式洗滌塔

Acetic Acid(glacial)

比較mild ㄧ些

醋酸(醋酸) 3.4 酸性 8 腐蝕性   透明/如醋之刺激性酸味 液體  

HBr

very critical

氫溴 8 腐蝕性   無色/有刺激、辛辣味 液體  

EBR-10-A

edge removal for photoresist

  中性 中性 3 易燃性   透明的/ 液體  

S1813

正光阻液 N.A   3 易燃性   淡黃色/ 液體 廢有機溶劑儲存槽
活性吸附

HMDS

(before photoresist coating)

六甲基二矽胺 N.A   3、8 易燃性、腐蝕性   透明/似 液體 廢有機溶劑儲存槽
活性吸附
Acetone(normal chemical)
  中性 中性 3 易燃性   無色/具、薄荷味 液體 廢有機溶劑儲存槽
活性吸附

Developer VLSI-237

(vlsi等級, particle free)

正光阻顯影液 13.6 8 腐蝕性--   無色透明/無味 液體 廢水處理廠
濕式洗滌塔

MP-351(Developer)

(still mild)

正光阻顯影液 >13 8 腐蝕性   無色/無味 液體 廢水處理廠
濕式洗滌塔

AZP-4620

(typical photoresist)

  5.5~6.5 弱酸 3 易燃性   透明/獨特氣味 液體 廢有機溶劑儲存槽
活性吸附
RN901(1815)                 廢有機溶劑儲存槽
活性吸附
SC-4   N.A             廢有機溶劑儲存槽
活性吸附
SC-6   N.A           液體 廢有機溶劑儲存槽
活性吸附
Developer NMD-W 2.38% 氫氧化四甲 N.A   8 腐蝕性   無色/ 液體 廢水處理廠
濕式洗滌塔
SPR-220   N.A   3 易燃性     液體  
MCPRis412M 3-甲基丙酸甲基 N.A   3 易燃性   褐色/芳香氣味 液體  

TMAH(just for remove photoresist

after expose)

氫氧化四甲基 >7 8 腐蝕性--   無色/有臭味 液體 廢水處理廠
濕式洗滌塔
DS-320S 光阻顯影液 10 8 腐蝕性     液體 廢水處理廠
濕式洗滌塔
NaOH(GR) 氫氧   8 腐蝕性   白色/無味 固體 廢水處理廠
濕式洗滌塔
XYLENE  C6H4(CH3)2  二甲   有機 3 易燃性   無色/芳香味 液體 廢水處理廠
濕式洗滌塔
EKC 922 or 265
正光阻去除液 N.A   8 腐蝕性   無色至微黃/類味 液體 廢水處理廠
濕式洗滌塔
KOH 氫氧化鉀 14 8 腐蝕性   琥珀色 液體  

H2SO4-very common for

photoresist removal)

硫酸 0.3 酸性 8 腐蝕性   無色 液體  
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